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技術(shù)文章

高照度光源照明裝置燈的常規(guī)類型

1. 185LE

2.FY-18

高輝度ハロゲン光源裝置

     

高輝度ハロゲン光源裝置は、半導(dǎo)體ウエハーおよび液晶基板の加工途中で最も
人手が掛る最終仕上面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の
様々な欠陥検出をするためのマクロ観察用照明裝置です。


概要

  1. 試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。

  2. 光源にはハロゲンランプを使用しているため色溫度は高く、照明ムラが少なく
    、非常に安定したシャープな照明となっています。

  3. コールドミラーの使用により熱の影響が従來(lái)のアルミミラーの1/3と極端に
    少なくなっています。

  4. 2段切換機(jī)構(gòu)により、高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることが
    できます。
    YP-150I???照度範(fàn)囲 φ30
    YP-250I???照度範(fàn)囲 φ60
    (YP-250Iはプロペラファン型とダクトファン型を選ぶことができます。)

聯(lián)系人:林經(jīng)理
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