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日本標(biāo)準(zhǔn)在線式薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)方法及標(biāo)準(zhǔn)

日本標(biāo)準(zhǔn)在線式薄膜測(cè)厚儀的檢測(cè)方法及標(biāo)準(zhǔn)

隨著科技的進(jìn)步和精密儀器的應(yīng)用,薄膜厚度的測(cè)量方法有很多,按照測(cè)量的方式分可以分為兩類:直接測(cè)量和間接測(cè)量。直接測(cè)量指應(yīng)用測(cè)量?jī)x器,通過(guò)接觸(或光接觸)直接感應(yīng)出薄膜的厚度,常見(jiàn)的直接法測(cè)量有:螺旋測(cè)微法、精密輪廓掃描法(臺(tái)階法)、掃描電子顯微法(SEM);間接測(cè)量指根據(jù)一定對(duì)應(yīng)的物理關(guān)系,將相關(guān)的物理量經(jīng)過(guò)計(jì)算轉(zhuǎn)化為薄膜的厚度,從而達(dá)到測(cè)量薄膜厚度的目的。常見(jiàn)的間接法測(cè)量有:稱量法、電容法、電阻法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。按照測(cè)量的原理可分為三類:稱量法、電學(xué)法、光學(xué)法。常見(jiàn)的稱量法有:天平法、石英法、原子數(shù)測(cè)定法;常見(jiàn)的電學(xué)法有:電阻法、電容法、渦流法;常見(jiàn)的光學(xué)方法有:等厚干涉法、變角干涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

薄膜測(cè)試儀連續(xù)測(cè)厚機(jī)FT-A200 / FT-A200R

配備高精度測(cè)量頭和放大器單元的機(jī)器。
只需設(shè)置從生產(chǎn)線切出的薄膜,即可輕松連續(xù)測(cè)量厚度。

FT-A200 測(cè)量范圍 / 10 μm 至 200 μm
FT-A200R 測(cè)量范圍 / 3 μm 至 100 μm
測(cè)量分辨率/ 0.01 μm



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