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技術(shù)文章

桌面型快速退火爐MILA-5050的特點(diǎn)及使用指南

桌面型快速退火爐MILA-5050的特點(diǎn)及使用指南

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Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內(nèi)的樣品。

用于處理φ20mm以內(nèi)的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認(rèn)可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求,Advance Riko在Mila-5000的基礎(chǔ)上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設(shè)計(jì),是一款集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

特點(diǎn)

  • 可對φ50mm以內(nèi)的樣品進(jìn)行熱處理

  • 最高熱處理溫度1200℃

  • 集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型設(shè)計(jì)

  • 搭配水冷循環(huán)腔體,可進(jìn)行潔凈的快速升降溫。

  • 通過USB連接,可將溫控程序輸入到電腦

  • 加熱過程中可通過電腦監(jiān)測溫度數(shù)據(jù);

使用指南

  • 硅片和復(fù)合圓晶的快速退火

  • 電子材料的快速熱退火,例如光學(xué)CVD的基板

  • 玻璃基板,陶瓷和復(fù)合材料等的熱處理

  • 熱循環(huán)測試

  • 金屬材料的熱退火

  • 涂膜的耐熱性評估

  • 有機(jī)材料和樹脂的加熱和干燥

均勻性測試

  • ① 500℃,Δt = 3.2℃

  • ② 800℃,Δt = 0.6℃

  • ③ 1000℃,Δt = 4.2℃

  • ④ 1200℃,Δt = 2.6℃


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