產(chǎn)品資料
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
產(chǎn)品名稱: 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點: 日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
GPW系列的特點
廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量。
省線：通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)省線，節(jié)省空間和省電
可見度更高：配備可確認(rèn)異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式可調(diào)節(jié)大氣壓和零點
可維護性：易于更換探頭
燈絲材料/鉑（Pt）：燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號：壓力為0至10V對數(shù)輸出標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
改善的抗沖擊性：
GPW系列的特點
廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量。
省線：通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)省線，節(jié)省空間和省電
可見度更高：配備可確認(rèn)異常的LED
一鍵式調(diào)節(jié)：一鍵式可調(diào)節(jié)大氣壓和零點
可維護性：易于更換探頭
燈絲材料/鉑（Pt）：燈絲材料使用具有高耐腐蝕性的鉑。
測量值輸出信號：壓力為0至10V對數(shù)輸出標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
改善的抗沖擊性：
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列 的詳細介紹
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
用
- 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
- 用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
- 用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進行過程控制，例如在線型和單晶片型
規(guī)范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接探針 | 之一 | ||
| 自適應(yīng)探頭 | SWP-16（NW-16） | ||
| 測量壓力范圍 | 5.0×10 -2?1.0 ×10 5帕 | ||
| 測量精度* | 1×10 -1至1××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2至1.0×10 -1 Pa，1×10 4 Pa至1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重復(fù)性 | 1 x 10 -1 Pa至1 x 10 4 Pa：±2％ | ||
| 采樣時間 | 50毫秒5次移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0?10 V | ||
| 壓力指示（對數(shù)輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | 集電極開路輸入，負(fù)邏輯 ADJ調(diào)整（零點調(diào)整，大氣壓調(diào)整） | -- | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負(fù)邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯誤信號 設(shè)定點1、2 | -- | |
| 監(jiān)控設(shè)定點 | 設(shè)定點1，2：0至10 V日志輸出 | -- | |
| 串行通訊規(guī)格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈 | ||
| SET-1：設(shè)定點1 LED SET-2：設(shè)定點2 LED | -- | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度極限 | 10-40°攝氏度 | ||
| 工作濕度范圍 | 15至80％（但無凝結(jié)） | ||
| IP防護等級 | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V?30 V，2 W（開機時為4.8 W） | ||
| I / O連接器 | D-sub15針（M2.6螺釘） | ||
| 大眾 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源部分）W xD x H（毫米） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | CE認(rèn)證 | ||
*大氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。
尺寸圖
單位：毫米
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura皮拉尼真空計儀表GPW系列
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